美国颇尔PALL FA71RPFWH4 半导体蚀刻液滤芯更换案例 应用场景：8 英寸晶圆酸性蚀刻液滤芯更换

 

美国颇尔PALL FA71RPFWH4半导体精密液滤芯更换案例

应用示例：8英寸高精度精密液滤芯更换

芯片厂采用 FA71RPFWH4 （1μm PTFE ）滤芯。原滤芯金属溶出超标，精度报率8% 。2024年8月更换：常保→某处→泄压→PFA清洗→安装新滤芯→检漏→监测压差。初始压差 0.06MPa ，寿命45 天，压差至 1.5bar更换。金属离子＜5ppb ，废报率高达0.5% 。更换耐氢酸氟，无金属溶出，符合 SEMI标准。